Ich werde voraussichtlich an 200GB Daten die Rechte leicht modifizieren. Wird das dazu führen, dass TimeMachine all diese Dateien neu schreibt?

Man könnte es vorher überprüfen, an einer einzelnen Datei. Backup manuell anstoßen und mit Backuploupe nachschauen, ob sie kopiert wurde.
Werden die Rechte denn überhaupt direkt in der Datei gespeichert? Wenn ja, müsste TM alles neu sichern. Wenn nein, nur die Dateiliste mit den Rechten.

Ich habe es soeben überprüft: Nachdem TimeMachine eine Sicherung durchgeführt hat, direkt an einer Datei die Rechte verändert und eine neue Sicherung initiiert: Backuploupe meldet, dass die Datei neu geschrieben wurde.

Ja, natürlich, denn ein Dateieintrag ist sozusagen die "kleinste sicherbare Einheit", die Time Machine verwalten kann.

Auch wenn sich am Dateiinhalt nichts ändert, muss durch das Ändern der Dateiattribute (wie z.B. der Berechtigung) ein echter neuer Eintrag in Time Machine angelegt werden. Dabei wird als Nebenwirkung auch der Dateiinhalt wieder gesichert.